Желімді тарату жүйесі

TPA Robot желілік жетектері тарату жүйесінде өте маңызды рөл атқарады. Ол теңдесі жоқ дәлдігімен және қайталанатындығымен тарату жүйесінің сенімді позициясын басқаруды қамтамасыз етеді.

KK бір осьті роботтарының немесе LNP сызықты қозғалтқыштарының жоғары қайталануы мен тегіс қозғалысы негізінде микрон деңгейіндегі дәлдік бақылауға қол жеткізіледі, бұл әсіресе FPD құрастыруында және жартылай өткізгішті қаптамада маңызды.